4月13日南大光電表示，旗下用于90nm-28nm制程的ArF光刻膠已分別通過存儲芯片制造和邏輯芯片制造企業(yè)驗(yàn)證。

來源：南大光電

南大光電稱，通過驗(yàn)證的一家客戶從去年8月份以來，一直正常購買公司光刻膠產(chǎn)品。因?yàn)槭强椭苹a(chǎn)品，暫未形成規(guī)模銷售。ArF光刻膠根據(jù)客戶訂單情況進(jìn)行生產(chǎn)銷售，目前項(xiàng)目延期至2022年底，公司將通過統(tǒng)籌協(xié)調(diào)全力推進(jìn)，力爭早日完成該項(xiàng)目建設(shè)。

公司ArF光刻膠產(chǎn)品第一步是要完成替代進(jìn)口，進(jìn)口替代任務(wù)完成后，再進(jìn)行品質(zhì)提升。目前公司ArF光刻膠是從核心原材料開始進(jìn)行研發(fā)，徹底解決卡脖子問題。

南大光電表示，先進(jìn)前驅(qū)體材料如28nm和14nm制程前驅(qū)體、硅前驅(qū)體等產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得重要突破。氫類電子特氣在技術(shù)、品質(zhì)、產(chǎn)能和銷售各方面已躍居世界前列。氟類電子特氣方面公司加快烏蘭察布“試驗(yàn)田”建設(shè)，為建設(shè)“世界單項(xiàng)冠軍”產(chǎn)品奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。