近日，知名CIS廠商格科微宣布搬入ASML的一套ArF光刻機。

據(jù)格科微表示，目前，格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收，相關(guān)廠務(wù)系統(tǒng)配備進展順利，共有61臺設(shè)備已經(jīng)搬入。未來，外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關(guān)設(shè)備仍會陸續(xù)搬入。

格科微表示，ArF光刻機的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”建設(shè)的關(guān)鍵節(jié)點。

依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進制程，格科微將進一步加快先進CIS工藝和高階專利像素的研發(fā)速度，并在自有工廠實現(xiàn)批量生產(chǎn)驗證，從而極大縮短高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應(yīng)市場的周期。

據(jù)了解，該項目總投資約155億元，建設(shè)一座12寸、月產(chǎn)6萬片的晶圓廠，建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產(chǎn)線，預(yù)計年底達到量產(chǎn)狀態(tài)。